第66章 参观晶圆厂流水线（上） (第2/2页)

但除了金圆圆之外，所有人都不知道，其实这个问题早就被王向中一眼就给破解了，其关键问题根本就没有出在内部生产线中，而是外部的硅片生产线上。

当然王向中也不可能现在就把这个问题说出来，他还需要更多的细节来验证自己的猜想。

几人跟着牛玉鹏上了楼，便隐约听到前面房间里呼啸而来的风声。

“前面就是净室了，”被噪音影响，牛玉鹏的声音也不自觉地大了几分，“一会咱们就要换衣服进入净室了，先声明一下，里面不能吃东西，不能脱口罩，不能咳嗽挠痒，以防止污染物流入生产线，听明白了没有？”

几人听到牛玉鹏的话，皆是点了点头。

净室，顾名思义，即是干净的生产室。这条5英寸的晶圆生产线，制程约在0.9微米左右，普通的灰尘等颗粒污染物，其直径尺寸大概就是几微米左右的样子，一旦在生产线上出现灰尘颗粒，极有可能直接将数张甚至数百张晶圆直接报废，所以需要格外谨慎。

净室不仅在温度、湿度、压强等指标方面控制相当严格，就连微震动指标，也是它所关心的数据之一，就拿光刻机来说，只要出现一点点震动，就可能导致光掩模偏离，或者光源不稳等情况，直接报废晶圆。

这个年代都还好，在未来纳米级别的芯片时代，就连患了感冒都不被允许进入净室，要知道一颗病毒的直径大多就在一百纳米左右，只要一个不慎，一口喷嚏下去，暂且还不提震动的事情，就算是这口喷嚏中的病毒，直接的经济损失至少也是数十万……

等到他们穿戴好防尘服，静电鞋，以及防尘目镜和口罩，在一番仔细检查，确认头发等细物都未暴露在空气中时，方才被允许进入气锁室内，进行下一步的除尘工作。

晶华净室使用的还是紊流洁净室方案，也就是顶层布置少量风机，两侧开设回风口，通过气流压强进行气流循环，以保证整体的洁净度。

这种紊流洁净室的优点是整体价格比较低，部署周期相对较短，在这个年代属于比较常见的净室方案。

在未来，层流洁净室将会代替这种古老的方案，通过大量风机垂直对准地板上的出风口，将均匀的气流对整体形成循环，以保证最少的杂质和异物进入生产线中。

“我们一般都是使用四探针法，对硅棒进行整体的良率测试，探测出它的轴向杂质浓度，以确认该晶圆是否可以正常使用。”

“一般送到这里的硅棒都已经是初步处理过了，已经将硅棒初步剪裁，大概每一段都是三十厘米左右的样子。”

牛玉鹏指着屋内正在不停运转的机器，继续介绍道：“这个就是内圆切割机，用于将硅棒切割成晶圆。”

众人望过去，数十台白色的机器正在其内不断运转，然后自动打包出不少半透明的盒子，而盒子里面，装的就是一片一片的晶圆。

晶圆相对还是很重的，而且在这个年代，大多都是使用人工进行晶圆运输工作，就比如此时，王向中就看到两个工作人员，正小心翼翼地将装有晶圆的透明盒子缓缓卸下，放在小推车上。

晶圆说白了，就是一整片硅单质，它在常温下是高脆度的固体形态，即使是工作人员已经足够小心了，但只要有一个磕碰，就可能导致晶圆表面出现肉眼不可见的裂缝，从而使得良品率下降。