第63章 随便一逛就全是问题 (第2/2页)
两人跟着运送硅锭的小车前行,很快就来到了流化床厂房。
不过这个厂房不像之前的电炉厂房,并没有透明的玻璃窗户,因此金圆圆也只能遗憾地听着王向中干巴巴地讲流程。
“为了满足单晶硅的纯度要求,还需要对硅锭进行进一步提纯。”
在流化床反应器中,将硅锭和无水氯化氢进行进一步反应,在300摄氏度的条件下,两者会进行反应,生成拟溶解的三氯氢硅和其它气态杂质。
反应器中产生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解过滤硅粉,冷凝三氯氢硅、四氯化硅,而氢气,无水氯化氢返回到反应中或排放到大气中。然后通过多级精馏分解冷凝物,净化三氯氢硅。
净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,高纯度的三氯氢硅与氢气发生还原反应,在1100摄氏度的高温下,还原沉积而生成多晶硅,这些多晶硅将会沉积在电加热硅池硅棒的表面上,从而得到真正高精度纯硅。
“得到了高精度纯硅,最后一步就是通过柴可拉斯基法,也就是俗称的直拉法,将硅晶种浸入硅熔融液,通过提拉旋转,让单晶硅在晶种上凝固成型,得到晶圆的初步工业品,硅棒。”王向中继续解释道。
“这一步一般使用天然气,”他指着墙壁上的管道说道,“在石英坩埚里,用天然气加热的效果会更好一些。”
正当他说着之时,只见管道竟然开始晃动起来,而且晃动幅度还不小,发出的乒乓声音也把两人吓了一跳。
“什么情况?”王向中吓得马上拉起金圆圆就跑出几十米远。
两人有些惊魂不定地看着那条管道,那管道晃动了好一会,才逐渐停下来。尤其是金圆圆,此刻更是脸色有些苍白,心脏一直在剧烈地跳动,完全停不下来。
毕竟刚才站在天然气管道前,两人都下意识地以为管道要爆炸了。
王向中站在远处观察了好久,便看见两个晶华的员工抱着两根管道,有说有笑地从厂房里走了出来。
赫然一看对方手上的管道,可不就是熟悉的天然气管道吗?
看到这一幕,王向中才松了一口气,连忙安慰一旁的金圆圆道:“没事了,刚才那动静,估计就是里面的人在拆管道。”
听到王向中的解释,金圆圆的悬着的心才算是放了下来。此时的她浑身都已经被冷汗打湿,右手捂在胸口上,随着呼吸一起一伏。
不过这两个员工的行为,也让王向中再次深深皱了皱眉头。虽然不知道因为什么情况要更换天然气管道,但明显看得出来,这样的行为根本不符合厂房安全条例。
提纯单晶硅这一步骤中所用的天然气的纯度必须要达标,否则容易在单晶硅棒中混入杂质,直接影响到最后的成品质量。
就这样小小地逛了一圈,竟然就发现了这么多生产方面的问题,这要是能通过验收才怪了!