第44章 攻克镜片（一） (第2/2页)

待几人都回去休息，路阳独自在工作间发呆，表面上看，现在已经取得了不小的进展，但真正涉及顶尖技术的项目，还未正式展开。

EUV镜头以及镜片组的制造，主要是四个方面，

材料方面：EUV反射镜需要使用特殊的材料，例如钼、铥等元素的多层膜结构，这些材料需要具有很高的纯度和均匀性。钼跟铥华国都是产能大户，长春光机所不可能缺，核心材料氧化硅更不是问题。

设备方面：需要使用高精度的设备进行制造，例如电子束物理气相沉积设备、磁控溅射设备等，这些设备需要满足高真空环境、高温、高能量等特殊要求，跟蔡司那样的百年企业相比，这方面出问题的可能性最大。

工艺控制方面：制造需要精密的工艺控制，例如多层膜的厚度控制、表面平整度控制等，这些控制需要使用高端的工艺控制技术和仪器设备。

检测技术方面：EUV反射镜的质量检测需要使用高精度的检测设备和技术，例如原子力显微镜（AFm）、x射线反射分析仪（xRR）等，这些设备需要具有很高的分辨率和灵敏度。

“工艺控制技术应该是最大的问题，其次环境问题，最后才是检测方面，长春光机所的设备制造间并非超净间，理论上也不需要达到超净的级别，短期内无法改造。”路阳喃喃自语。

通常医院或者一些生物实验室的无尘环境，可以归为净室，超净间就是比这些普通净室干净万倍的空间，有一整套严格的控制标准，暂时不做更多赘述。

作为曾经的专业视频博主，路阳对专业相机镜头不陌生，他现在总算明白，为什么国内从来没有山寨机了，镜头制作实在太难，更何况是直径如此大的镜头组。

路阳翻看了下桌面的这些文件，大部分都看不懂，一堆数学公式更是让他头晕目眩，竟然在工作间睡了过去。

门外嘈杂的声音将他吵醒，一看窗外，已是晚上，一些工人往里搬运设备。

这应该就是采购的最后一批设备了，睡了几小时，路阳精神恢复了许多，来到室外，见白学礼正在指挥工人，嘴里大声喊道：“都小心些，轻拿轻放，这些东西可不能有任何损坏。”

回头又对助手说道：“组织人开箱检查设备，把说明书都翻译出来，明早进行安装调试。”

路阳来到白学礼身边，“白教授，您怎么又回来了？”

“没事，睡了3个小时，最后一批设备，不过来看看我不放心，对了，小路，听说申城的生产线计划是10条？”

“是的，dUV跟EUV原定都是5条，具体的看进度了。”

休息了一下午，白学礼终于恢复成路阳第一次见到的自信模样。

“哈哈，压力又来到我们这边了，不过我坚信我们一定能造出EUV的。”

“白教授，怎么没见小组的其他老师呢？”昨天回来路阳就发现这个问题了。

白学礼笑道：“我让他们带着问题回去搬救兵了，明天都会回来，加工车间没搞定，他们留下来也没用。”

说完又点了支烟，“是我这边着急了，23所的两位教授这两天信心被打击得可不小，不过我相信很快便能恢复了，毕竟来自那里！”

路阳好奇问道：“那里有什么神秘之处吗？”，旋即又想起那边是保密单位，下意识又补充道：“我只是有点好奇，如果涉及保密就不用跟我说了。”

“23所是钱老指定设置的研究机构！”

路阳呆立当场。