第57章 最佳球员的新论文 (第2/2页)

再次提出浸润式的可能性，同时他并发表了浸润式设备及操作的示意图，同时注册了专利，在论文中，孙凯文列举了他的理由：

首先，157纳米这波长很不好掌握，主要原因之一穿透率很低，只有少数可用的介质是透明的，这波长一共有五个瓶颈需要突破：

1、镜头的材料：唯一有希望的介质是单结晶的二氟化钙（CaF2），可是要做出20–30公分大小的完美结晶非常困难，时间非常漫长，在这期间所需的温度、拉速、震动、周遭的环境等都不能有任何变动。这么长的学习周期，用数百个熔炉都无法改进学习的速度。

2、感光物质的穿透率及耐蚀刻性，也令发展光阻的高手伤透脑筋。

3、光罩的材料因二氟化钙价钱太高，而且不耐用，只好用穿透率差的石英，对高准确度的成像有影响。

4、在光罩的聚焦区以外的平面有一层透明的护膜，作用是挡开会附在光罩上产生影像瑕疵的微粒，在157纳米的波长发展不出既透明又能伸展的薄膜。用石英的硬片取代则产生无应力把硬片吸附在光罩上的难题。

5、空气中的氧气会吸收157纳米的光，光经过的整个路径必须只有氮气，造成很多不便，会增加制造的成本，而且如果意外漏出太多氮气有致命性。

孙凯文在紧接着的第二篇论文里，发表了他的解决方案，根据实验室数据，水在193纳米波长的折射率是1.46，水在157纳米波长的折射率是量不出来的，因为不透光。

奇妙的是，因为水的折射率在一般的波长是1.3多。所以在一般波长下用水做浸润式的介质只能改进30%多，但若改成现在可用的最短波长193纳米，1.46的折射率特性，水能把解析度增加46％！

水是半导体生产线上大量使用的液体，接受度不成问题。换算一下，157纳米只比193纳米短23％，也就是只能把解析度提高23％，而用193纳米加水可以提高46％，几乎是两倍！

光在进入水前的波长是193纳米，只在水中变短为132纳米，可以避开所有157纳米的困难，能改进46％，又容易被半导体业接受。

这两篇论文，再次引起了业界的高度关注。

3月15日，欧洲冠军杯的第三场淘汰赛第二场开战，对阵双方是米兰对阵德甲劲旅不莱梅，之前的客场比赛，AC米兰1:1逼平了对手。

为了准备主场比赛，AC米兰的主力在联赛中做了一些轮换，1:1客场逼平拉齐奥，紧接着就是3月12日主场对尤文图斯，一场硬仗。

考虑到球队的多线作战，萨基做出了一个大胆的阵容安排，几乎以全替补出阵联赛，令人意外的是，这帮替补超水平发挥，居然在主场4:0掀翻强大的尤文图斯，孙凯文首发出场，并且打满全场，在对方乌龙球导致落后不到两分钟就补上一刀，脚后跟秒传埃瓦尼，让后者把比分扩大到两球，在下半场孙凯文更是独中两元，整场比赛两射一传，再次被评为全场最佳球员。