第一百三十三章 刀具的Lifetime (第2/2页)

“你看，刀具的寿命在这里，切割的次数在这里！当刀具的寿命超期，设备会报警提醒！”谢工指着控制界面说道。

“谢谢！”辛佟点了点头。

采用报警提醒功能不错，这种从源头预防的方法才是正确的管控方式！

“切割道宽度是多少？”用肉眼看上去，切割后的晶圆依旧完整无缺，提到刀具，辛佟忍不住好奇地问道。

“这把刀能够达到的最小切割线宽度是35微米。”谢工用手指着切割刀说道。

35微米！难怪切割无痕啊！

辛佟静静地盯着切割台，很快一层蓝色的薄膜引起了他的兴趣，在减薄工序他也看到过这层蓝膜，不过到了切割工序，蓝膜是固定在一个金属钢圈上。

“非常有意思，晶圆下面的蓝膜套在了钢圈上！”辛佟说道。

“这层tape是为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤，切割分离后的晶粒会粘在蓝膜上，钢圈是用来固定蓝膜的。”谢工解释道。

“噢！”辛佟点了点头。

他静静地看着晶圆切割，除了金庸的武侠小说，他还从来没有见过也从来没有听过有如此又快又锋利的刀！

这真是一把惊世好刀！

大开眼界了！

冷静思考了一下，对于一刀切他还是充满了疑问，担心切割应力会造成晶圆崩边：“谢工，我们减薄后的晶圆厚度还有150微米，一刀切到底是否合理？”

“辛经理，实践经验告诉我们一刀切问题不大，当然现在有切两刀的工艺，叫阶梯切割(stepcut)，用两把刀片完成对晶圆的切割，切两刀这种工艺可以有效改善芯片崩边的问题。”谢工说道。

“谢工，我们摩托罗拉项目需要采用阶梯切割，一刀切的风险太大了！”辛佟说道。

虽然没有实践经验，前一世他是理科大神，从受力分析，他觉得两刀切对晶圆施加的应力会少很多，肯定质量更好。

“好的，我今天就安排假片试试这个工艺！”谢工点了点头。

“你可以先试一试，我要的是doe分析过的工艺，确保万无一失！”辛佟笑着说道。

姜华站在一旁，看他指点四大天王之一的谢剑风，惊讶得说不出半句话来！

这个辛佟早就不是当年那个学渣了！